高温栅极偏压测试机
1 设备名称:高温栅极偏压测试机
2 设备型号: HTGB-IGBT-30V
3 测试标准:符合 MIL-STD-750
4 工作原理:
将被测元件放置于一定的环境温度中,(环境温度依据被测元件规格设定)给被测元件栅极施加一定的偏置电压。同时工控机实时检测每个材料的漏电流,电压,并根据预先设定,当被测材料实时漏流超出设定时,自动切断被测材料的电压,可以保护被测元件不被进一步烧毁。
5 被测元件
5.1 IGBT
6 机器主要功能即一般说明
6.1 正常HTGB测试,通过按钮选择可以选择以下偏置,两种偏压工作时只能二选一,不能同时工作
6.1.1 正栅压测试 或
6.1.2 负栅压测试
6.2 热阻测量,即测量HTGB条件时的Tj。
6.3 高温试验箱内可以装4层老化板
6.4 每层10个工位。
6.5 整台机器合计40个工位,即每个工位可以测试1个芯片
6.6 当被测模块体积过大时,由于体积限制,被测芯片数量可能减少
7 规格与配置如下:
7.1 高温试验箱:
7.1.1 数量:1台
7.1.2 品牌:YOMA
7.1.3 试验箱带有通讯功能
7.1.4 试验箱内尺寸:600X600X600
7.1.5 温度均匀性:+-2C,Ta<150C(空载)
7.1.6 最高;温度175℃
7.2 直流电源
7.2.1 品牌:安捷伦或其它
7.2.2 型号:E3641A
7.2.3 最高输出范围:0-35V/0.8A 或者0-60V/0.5A
7.2.4 数量:2台
7.3 控制柜(与烤箱连接在一起)
7.3.1 数量:1台
7.4 工控机:
7.4.1 数量:1台
7.4.2 品牌:台湾研华
7.5 元件老化板:
7.5.1 数量:4块
7.5.2 更换不同的老化板可以测试不同元件
7.6 数据测量板和漏电流保护/切换板
7.6.1 功能
7.6.1.1 检测每个材料的电压,电流
7.6.1.2 漏电流超限保护,自动切断测量回路
7.6.2 数量:
7.6.2.1 40 个DUT
7.6.3 测量电流范围:
7.6.3.1 200nA-5000nA
7.6.3.2 电流分辨率:0.5nA
7.6.3.3 测量精度:+-3%,+-5nA
7.7 电压测量:
7.7.1 分辨率 :0.1V
7.7.2 测量精度:+-1%,+-0.2V
7.8 声光报警功能:
7.8.1 温度异常
7.8.2 过电流
7.8.3 电压异常
7.9 每次启动,自动检测被测元件,如有反极性报警。
7.10 数据采样时间可以自行设定范围3S-7200S
8 设备校准要求,
8.1 高温箱温度校准:按照国标即可
8.2 电源电压校准:如有偏差,通过软件进行修正
8.3 漏电流校准:需要校准电流数据采集卡
9 防静电设计
9.1 设备外壳良好接地
9.2 预留静电接地端子(香蕉插头插孔)方便操作员连接静电环。
10 主机设计理念
10.1 元件失效时要保证提供足够的信息给工程师做分析。
10.1.1 必须记录失效时电压,温度(这是半导体元件最敏感参数)及被测元件漏电流随时间的变化趋势。
10.1.2 当元件即将失效之前,立即将材料从被测回路中断开,保证给工程师提供一个近似完好的元件,而不是完全烧毁的元件,从而使工程师更容易分析失效原因。
10.1.3 为了实现以上目的,我们在每个元件中均串联有电子开关,保证当被测材料超出漏电流规格时,能自动切断被测材料。而传统的电阻保护和保险丝保护,由于控制漏电流精度较低,一般很难实现此功能。
10.2 HTGB的测试条件是80%VGEmax, 最大Tj,一般电压很好设定,但是如何设定试验箱的环境温度从而使材料Tj达到最大却较难设定。本设备能辅助使用者通过简单调整,计算出如何实现以上条件